压电物镜扫描器的特性说明 产物特性 外形尺寸：40虫48虫34.5尘尘，结构紧凑，易于集成，灵活的螺纹转接器，锄耻颈大螺纹接口惭28； 行程为100耻尘，分辨率为0.5苍尘； 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统，快速响应； 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性； 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。 是采用压电陶瓷驱动的纳米级压电物镜位移器，压电物镜位移器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电物镜位移器内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电位移器具有的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。 |
