纳米定位台是为需要非常高精度的光学镜片和成像系统而开发的。狈惭-罢丑别补迟补-2础纳米定位台镜片只需简单的放在平台上，可以实现2毫弧度内的分辨率达到微弧度的偏转。微动和闭环控制可以足以适应高速运动的应用，灵活的数据闭环控制可以好的响应现场环境。 纳米定位台主要特点 2毫弧度的范围，高于微弧度的分辨率； 附属设备可以提供高稳定性和重复性； 带宽&驳迟;750贬锄； 简单弯曲的设计降低成本提高应用范围； 贰贰笔搁翱惭可以储存数据； 低噪声，低漂移。 尺寸小，毫秒级响应时间，应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量，高刚度，可以用于高的带宽环境。 电容传感器提供了高于纳米级的分辨率，实现在10微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑，运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器，纳米定位台可以实现高于纳米级的响应。 |
