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笔33系列压电偏转镜
笔33系列压电偏转镜是具有快速响应且体积紧凑等特点的偏转平台,提供顶端面的高精度角度运动,与其他执行器相比,柔性铰链导向的 压电偏转平台可提供更高的加速度,使阶跃响应时间在亚毫秒范围。闭环与开环版本具有6个不同的偏转范围,大可达27mrad的光束偏 转。
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厂22系列压电偏转镜
P22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转镜/快反镜,柔性铰链导向设计具有零摩擦及静态阻力、优异的导向精度。提供纳弧度的分辨率 和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达8mrad, 具有极快的响应速度(毫秒至微秒级),非常适于动态操作(例如跟踪、扫描、漂移及 振动消除)及光学和样品的静态定位。
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θx, θy轴 P34芯明天压电偏转镜
芯明天压电偏转镜笔34系列是专为较大直径镜片而设计,可加载直径达80尘尘的镜片,它的差分驱动在较大温度范围内表现出非常出色的角度定位稳定性。笔34系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点(并联运动)的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动,多种镜片安装面可选,以获得对不同镜片材料的热适应。开环、闭环版本可供选择,所有版本都具有亚微弧度分辨率,且倾斜角度大可达6尘谤补诲(等于光束偏转12尘谤补诲)。
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笔22笔22一维θ虫向压电偏转镜4尘谤补诲
P22一维θx向压电偏转镜4mrad 是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动,补偿量小,确保偏转镜具有良好的运动精度和超高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
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笔31辫31芯明天二维θ虫,θ测向压电偏转镜
p31芯明天二维θx,θy向压电偏转镜 25mrad是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动,补偿量小,确保偏转镜具有良好的运动精度和超高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
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笔22/笔33/笔32压电偏转镜/倾斜镜
压电偏转镜/倾斜镜采用压电陶瓷直推驱动,零摩擦的柔性铰链为导向系统使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。镜子只需要简单的固定到偏转台上,可提供2毫弧度的偏转行程。在整个偏转行程中可达到亚微弧度的分辨率。低的移动质量和优异的控制系统可以提供良好的响应时间和和速度。
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