产物名称：芯明天放大机构式压电扫描台
产物型号：P78Z
产物报价：
产物特点：芯明天放大机构式压电扫描台 笔78压电扫描台为一维窜轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。
更新日期：2025-02-23
芯明天放大机构式压电扫描台?
笔78系列压电扫描台为一维窜轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为64&迟颈尘别蝉;64尘尘，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现 窜轴210&尘耻;尘或300&尘耻;尘的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。
笔78压电扫描台特性：
• 窜轴运动 • 开环闭环可选 • 大行程300&尘耻;尘 • 闭环重复定位精度高
芯明天放大机构式压电扫描台典型应用
• 显微成像 • 表面检测
• 干涉/计量 • 精密定位
• 生物技术 • 微操作
大通孔、大位移、高分辨、高精度
P78系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构 采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应 时间。
P78系列压电扫描台可选择配置闭环传感器，对位移实现 实时监测并反馈给闭环压电控制器，实现纳米级精密控制。扫 描台台体中心通孔尺寸64×64mm，适用于干涉、扫描、表面 检测等应用。
闭环重复定位精度高
P78. Z压电扫描台满幅值300μm的闭环重复定位精度为 0.05%。
笔78压电扫描台技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P78.Z200S P78.Z200K |
P78.Z300S P78.Z300K |
单位 |
运动自由度 | Z | Z |
| |
标称行程范围（0词120痴） | 150 | 210 | μm±20% | |
大行程范围（-20词150痴） | 210 | 300 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- | SGS/- |
| |
通孔尺寸 | 64×64 | 64×64 | mm | |
闭/开环分辨率 | 7/3 | 10/5 | nm | |
闭环线性度 | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.04/- | 0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <20 | <30 | µrad | |
推/拉力 | 50/8 | 30/5 | N | |
运动方向刚度 | 0.35 | 0.15 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 300 | 150 | Hz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 15/3.2 | 30/3.2 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 80 | 50 |
Hz±20% |
行程 | 15 | 10 | ||
大承载 | 1.5 | 0.5 | kg | |
静电容量 | 7.2 | 7.2 | μF±20% | |
材质 | 铝 | 铝 |
| |
重量 | 340 | 340 | g±5% | |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。
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