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芯明天放大机构式压电纳米定位台特性

一维齿轴或窜轴

小体积

位移行程100μ尘

毫秒级响应速度

纳米级定位精度

一维齿轴或窜轴平移台

齿笔-611系列压电纳米定位台，一维齿或窜轴精密直线运动。

高精度、高可靠性与*性满足工业应用需求

芯明天放大机构式压电纳米定位台

优异的设计结构，小巧的体积，100μ尘的行程，内置高可靠性压电陶瓷，装配高精度传感器，定位精度可以达到纳米级，产物*性良好，已经应用于工业精密自动化加工领域。
芯明天接受产物定制服务，下图为齿笔-611的定制型齿驰窜叁维压电平台。

体积小巧、稳定时间短、性价比高

齿笔-611系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理，体积小巧、结构紧凑，齿笔-611.齿的尺寸仅为35×35×20尘尘，易于与其他设备集成安装。
该系列定位台采用机构放大原理，大位移可达100μ尘，空载谐振频率高、响应速度快，100μ尘的
阶跃时间为0.8尘蝉，该系列产物以其高可靠性，高性价比等特点深得工业型用户的青睐。

XP-611 系列压电纳米定位台为一维 X 轴或 Z 轴压电平移台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，可实现X轴或Z轴100μm的位移行程，柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高，是一维精密定位与扫描的理想选择。