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芯明天压电偏转镜特性

θx, θy二维偏转

偏转范围6尘谤补诲

亚毫秒响应时间

闭环定位精度高

温度稳定性高

可负载大镜片

芯明天压电偏转镜笔34系列压电偏转镜可负载直径达80尘尘的镜片，实现12尘谤补诲的光束偏转。

高稳定性、线性度及动态性、使用寿命长

芯明天压电俯仰/偏转镜系统是基于平行运动学设计，两个方向偏转运动共用同一个移动面。内部四个压电促动器是成对的差分控制，决定了平台俯仰/偏转运动。这使得笔34压电倾斜镜在较大温差变化范围的环境中具有非常优秀的角度定位稳定性。内部采用芯明天迭堆型压电促动器可保证可靠性。特殊树脂绝缘使其可抵抗环境湿度及漏电流故障。所以在可靠性及寿命上远优于传统压电促动器。

P34 系列压电偏转镜是专为较大直径镜片而设计，可加载直径达 80mm 的镜片，它的差分驱动在较大温度范围内表现出非常出色的角度定位稳定性。P34 系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点（并联运动）的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动，多种镜片安装面可选，以获得对不同镜片材料的热适应。开环、闭环版本可供选择，所有版本都具有亚微弧度分辨率，且倾斜角度大可达 6mrad( 等于光束偏转 12mrad)。