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厂22系列压电偏转镜是一维θ虫轴偏转镜/快反镜，柔性铰链导向设计具有零摩擦及静态阻力、优异的导向精度。提供纳弧度的分辨率 和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达8mrad, 具有极快的响应速度（毫秒至微秒级），非常适于动态操作（例如跟踪、扫描、漂移及 振动消除）及光学和样品的静态定位。

特性：

• θ虫一维偏转 • 大偏转角度4mrad • 亚毫秒响应时间 • 闭环定位精度高

典型应用

• 图像处理与稳定 • 隔行扫描、抖动

• 激光扫描 • 光束偏转

• 光学滤波器/开关

结构原理

小体积、高动态、开环闭环可选平台由一个铰链支撑，并且由一个线性压电促动器推动。铰 链确定了轴心点，兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个 铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高 等。如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大，推荐使用差分 驱动压电偏转镜。

  压电驱动俯仰/偏转台（快反镜/倾斜镜，光束偏转，相移 器）提供比音圈电机类产物更高的加速度及带宽，θ虫轴偏转范围 为4mrad，偏转分辨率达0.1μ谤补诲，开环闭环可选，闭环传感器 包括应变传感器及电容传感器，可获得更高的定位精度。

超小体积设计，具有非常快的响应速度，可带载?15mm的 镜片实现0.8ms的阶跃时间。

厂22系列压电偏转镜技术参数：

以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。