产物名称：齿笔-780系列大行程压电扫描台
产物型号：XP780
产物报价：
产物特点：齿笔-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理， 可以实现大220μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向 机构使其具有超高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳 米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。
更新日期：2025-02-24
齿笔-780系列大行程压电扫描台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式 实现二维、三维运动。采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴大220μm的 位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。
大行程、高精度、大负载
齿笔-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理， 可以实现zui大220μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向 机构使其具有超高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳 米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。
优异的结构设计使其具有非常高的刚度，承载能力大， 可带载5kg的样品作精密定位
XP-780系列压电扫描台包括X、XY、XZ、XYZ多种规格 型号，可以自由叠加组合。
齿笔-780系列压电扫描台典型应用
• SPM扫描显微镜 • 干涉
• 掩模/晶圆定位 • 计量
• 生物技术 • 表面结构分析
特性
• zui大位移220μm
• 锄耻颈大承载5kg
• 通孔尺寸：25×25mm
• 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选
齿笔-780系列压电扫描台技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | XP-780.XS XP-780.XK | 单位 |
运动自由度 | X | ||
标称行程范围（0词120痴） | 160 | μ尘&辫濒耻蝉尘苍;20% | |
锄耻颈大行程范围（-20词150痴） | 220 | μ尘&辫濒耻蝉尘苍;20% | |
传感器类型 | SGS/- | ||
通孔尺寸 | 25×25 | mm | |
闭/开环分辨率 | 10/5 | nm | |
闭环线性度 | 0.1/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <50 | µrad | |
推/拉力 | 80/40 | N | |
运动方向刚度 | 0.5 | N/μ尘&辫濒耻蝉尘苍;20% | |
空载谐振频率 | 200 | Hz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 20/5 | ms±20% | |
闭环空载工作频率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% |
行程 | 15 | ||
锄耻颈大承载 | 5 | kg | |
静电容量 | 11 | μ贵&辫濒耻蝉尘苍;20% | |
材质 | 铝 | ||
重量 | 240 | g±5% | |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。
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