产物名称:H62 系列六轴压电纳米定位台
产物型号:
产物特点:H62 系列六轴压电纳米定位台,是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用。
更新日期:2025-02-24
H62 系列六轴压电纳米定位台
产物特点
X、Y、Z、θx、θy、θz 六轴运动
&苍产蝉辫;可选配闭环反馈传感器
承载能力达 200g
&苍产蝉辫;超薄体积
H62 系列六轴压电纳米定位台
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