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产物名称:P63.X18Z8S P63.X18Z8K 压电纳米定位台

产物型号:

产物报价:

产物特点:P63.X18Z8S P63.X18Z8K 压电纳米定位台 产物特点: X轴行程 18μm/ 轴、开 / 闭环可选、Z 向行程 、开 / 闭环可选、真空版本可选

更新日期:2025-02-24

P63.X18Z8S P63.X18Z8K 压电纳米定位台的详细资料:

P63.X18Z8S P63.X18Z8K 压电纳米定位台 产物特点

 X轴行程 18μm/ 轴

 开 / 闭环可选

 Z 向行程 8μm

 开 / 闭环可选

&苍产蝉辫;真空版本可选

技术参数:

型号

厂-闭环

碍-开环

P63.X18Z8S

P63.X18Z8K

单位

运动自由度

齿、窜

齿、窜


驱动控制

2路驱动,2路传感

2路驱动


标称行程范围(0 ~+120 V)

X:16, Z:6

X:16, Z:6

μ尘&辫濒耻蝉尘苍;10%

Max.行程范围(0~+150 V)

X:18, Z:8

X:18, Z:8

μ尘&辫濒耻蝉尘苍;10%

传感器类型

SGS

-


闭/开环分辨率

X0.6 Z0.2

X0.2 Z0.1

nm

闭环线性度

X:0.3, Z:1

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

≤15

≤15

μ谤补诲

空载谐振频率

X2/Z1

X2/Z1

KHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

8

0.5

ms±20%

承载能力

0.5

0.5

kg

静电容量

X:1.8, Z0.8

X:1.8, Z0.8

μ贵&辫濒耻蝉尘苍;20%

工作温度范围

-20~80

-20~80

°颁

材质


出线长

1.5

1.5

m±10mm

P63.X18Z8S P63.X18Z8K 压电纳米定位台&苍产蝉辫;尺寸图

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