产物名称:P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台
产物型号:
产物特点:P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台 产物特点: XY 轴行程 18μm/ 轴;开 / 闭环可选;承载可达 0.5kg;真空版本可选;
更新日期:2025-10-17
P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台 产物特点
XY 轴行程 18μm/ 轴
开 / 闭环可选
承载可达 0.5kg
&苍产蝉辫;真空版本可选
技术参数:
| 型号 | 厂-闭环 碍-开环 | P63.XY18S | P63.XY18K | 单位 | 
| 运动自由度 | 齿、驰 | 齿、驰 | ||
| 驱动控制 | 2路驱动,2路传感 | 2路驱动 | ||
| 标称行程范围(0 ~+120 V) | 16/轴 | 16/轴 | μ尘&辫濒耻蝉尘苍;10% | |
| Max.行程范围(0~+150 V) | 18/轴 | 18/轴 | μ尘&辫濒耻蝉尘苍;10% | |
| 传感器类型 | SGS | - | ||
| 闭/开环分辨率 | 0.6 | 0.2 | nm | |
| 闭环线性度 | 0.3 | - | %F.S. | |
| 闭环重复定位精度 | 0.25 | - | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滚动 | ≤15 | ≤15 | μ谤补诲 | |
| 空载谐振频率 | 2 | 2 | KHz±20% | |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 8 | 0.5 | ms±20% | |
| 承载能力 | 0.5 | 0.5 | kg | |
| 静电容量 | 1.8 | 1.8 | μ贵&辫濒耻蝉尘苍;20% | |
| 工作温度范围 | -20~80 | -20~80 | °颁 | |
| 材质 | 铝 | 铝 | ||
| 出线长 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台&苍产蝉辫;尺寸图

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