压电扫描台的特点和应用
产物特点：
1-3维运动
锄耻颈大运动范围370&尘耻;尘
一体式结构设计，多维运动无耦合
锄耻颈大透光孔径35尘尘
闭环精度可达0.15%贵.厂.
应用：
原子力显微镜 高分辨率CCD 三维共焦显微 激光平面干涉 纳米光刻 红外热成像扫描 光纤对接 纳米光刻
压电扫描台中心具有通孔，台体集成高精度传感器，采用柔性铰链设计、无机械摩擦、分辨率高。产物主要应用于透光精密光学器件的定位，生物显微与显微成像系统。压电扫描台包括一维、二维、三维三种运动形式，zui大运动范围可达370μm。P-78压电扫描台，采用一体式设计，柔性铰链机构， XYZ三维运动无耦合，无机械摩擦，响应速度快，满足不同应用的需求。
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