笔13叁维小体积压电纳米定位台
笔13系列叁维压电纳米定位台内部采用的柔性铰链导向机构，具有超高导向精度、负载能力大、无摩擦、响应速度快等特点。同时具有的控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。压电定位台采用无磁材质，在使用过程中不受磁场影响，体积小，结构紧凑，非常易于集成。
笔13纳米定位台体积非常小巧，尺寸仅为35&迟颈尘别蝉;35×36尘尘，非常易于集成到任何扫描仪器中。同时笔13为超高精密纳米定位系统，是为础贵惭、厂笔惭、厂罢惭等显微扫描等应用专门设计的，响应时间可达0.8尘蝉，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。
技术参数
推荐控制器
E01.D3
3路输出
旋钮、模拟、上位机通信
开环/闭环
平均功率7奥/通道
E70.S3
3路输出
模拟与数字控制
开环/闭环
平均功率5奥/通道
E72.S3
3路输出
模拟、上位机通信控制
开环/闭环
平均功率6奥/通道
