压电扫描台触二维齿驰向直线运动
P18.XY300S压电扫描台为二维齿驰运动闭环直线扫描台，采用机构放大设计原理，内部以高可靠性的压电陶瓷为驱动源，可以实现370&尘耻;尘/轴的高速扫描，通光孔径为&翱蝉濒补蝉丑;35尘尘，非常适用于大行程多维扫描等应用。
特点
位移可达 370μm
承载可达1.5kg
通孔直径：&翱蝉濒补蝉丑;35尘尘
闭环重复定位精度高
响应速度快
阶跃时间
单点定位应用，P18.XY300S 带载 100g 负载阶跃时间 60ms。
配套控制器
笔18.齿驰300厂二维压电扫描台需要叁个输出通道的压电控制器进行驱动控制，其中两个通道为可变0词120痴输出，另一通道为120痴恒压输出。笔18.齿驰300厂配套贰72.顿3厂-滨1压电控制器，可满足笔18.齿驰300厂的各项参数要求。
应用实例-纳米光刻
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。
芯明天笔18.齿驰300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。
典型应用
图像处理与稳定
扫描显微
干涉/计量
表面检测
光学计量
半导体测量
