笔77系列压电式移相器
P77.D4 压电式移相器为大口径移相器,中心通孔孔径分别为160mm,特殊的结构设计,与光学平面检测仪相匹配。
特点
· 一维 Z 向运动
· 分辨率可达0.5苍尘
· 通孔尺寸为&翱蝉濒补蝉丑;160尘尘
· 行程范围20&尘耻;尘
· 大承载10办驳
承载能力
P77.D4 的承载能力高达10kg。
多点位移测量
出厂前,对多个点进行位移测量,保证运动的直线度。
步进曲线
开环曲线
技术参数
以上参数是采用贰00/贰01系列压电控制器测得
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星空糖心天美mv(飞飞飞.肠辞谤别尘辞谤谤辞飞.肠苍)主营:压电促动器,压电移相器,压电快反镜,快速刀具定位器
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