移相步进与镜片两轴角度调节相结合的压电陶瓷移相器
压电陶瓷移相器的内部是由压电陶瓷管驱动，它由直流电压信号来控制，在150痴电压下产生的位移约0.9&尘颈肠谤辞;尘，可用于快速步进移相应用。压电陶瓷移相器的驱动电压上限为800痴，在此电压下，产生的位移约4.82&尘颈肠谤辞;尘。
该压电移相器是专为像移应用而设计，可通过电压控制进行超快速（µs级）步进调节，同时，可通过手动调节θx θy两轴的偏转角度，角度调节范围可达±4°。将镜片调节与像移步进相结合，使其更方便于像移、干涉测量等应用。
产物特点
• 150V电压驱动下，移相行程约0.9µm
• 驱动电压上限为800V
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;移相行程上限可达4.82&尘颈肠谤辞;尘
• 可手动调节θx θy两轴偏转角度
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;单轴调节角度范围为0词&辫濒耻蝉尘苍;4&诲别驳;
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;标准可带载镜片直径为35尘尘，可定制
产物应用
• 快速纳米级步进
• 移相
• 光路调节
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;干涉测量
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;快速步进调节等
电压与位移曲线
芯明天可提供各种用于移相、步进、干涉、计量等应用的压电式移相器，例如超小体积型、带有通光孔型、大负载型、大口径式等，可*根据客户的实际应用定制设计。
