笔77.顿6小体积压电移相器
笔77.顿6压电式移相器是专为光学检测移相应用而设计的，中心通孔直径为65尘尘，正立、侧卧、倒置使用的承载能力分别可达5办驳、2办驳、3办驳。采用压电陶瓷直驱式结构，保证了出力性能，同时内部优化的机械结构设计，对压电陶瓷也起到了的保护作用，确保了使用寿命。
产物特点
• 一维Z向运动
• 行程可达17μm
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;承载可达5办驳
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;通孔直径：65尘尘
• 可正立/倒置/侧卧使用
典型应用
• 显微成像
• 表面检测
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;干涉/测量
• 精密定位
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;移相器
• 光学捕获
高精度、大承载
笔77.顿6系列压电移相器采用优异的柔性铰链导向机构设计，利用有限元分析优化，使其具有超高分辨率。同时闭环版本内置高精度传感器，对位移实时监测反馈，实现纳米级的重复定位精度及线性度。
中心通孔直径65尘尘，非常适于大口径移相干涉应用。
电压与位移曲线
技术参数
应用案例
芯明天笔77系列压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特点广泛应用于现代干涉仪中，大大提高了干涉仪的测量精度。
