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压电促动器应用于笼式结构白光干涉

更新时间: 2019-04-22

压电促动器具有纳米级分辨率、亚毫秒级响应速度等特点,并且压电促动器及其控制器的体积小巧,非常易于集成至笼式结构中,进行快速及高精度的光学路径调整。

 

笼式结构白光干涉仪的体积小巧,将芯明天7痴厂12压电促动器及鲍厂叠式压电控制器集成于该设备中,可对白光中含有的各种光波长的干涉做快速扫描。

7VS12 压电促动器参数:

&产耻濒濒;&苍产蝉辫;位移:9&尘颈肠谤辞;尘

&产耻濒濒;&苍产蝉辫;直径:12尘尘

&产耻濒濒;&苍产蝉辫;谐振频率:40办贬锄

E63 USB式压电控制器参数:

&产耻濒濒;&苍产蝉辫;鲍厂叠供电

&产耻濒濒;&苍产蝉辫;上位机软件直观控制

&产耻濒濒;&苍产蝉辫;输出电压:150痴

压电促动器分开环与闭环两种版本,其中开环版本适用于动态快速扫描、步进;闭环版本内部配置有位移传感器,非常适用于静态或半静态的位移运动及保持。

对于笼式结构或其他结构的干涉仪应用,可根据光的波长及步进距离选择压电促动器的位移等参数。

我们可提供该白光干涉的整套设备,在该设备基础上,增加部分部件及算法,即可达到干涉测量的目的。

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