压电扫描台应用于纳米压印
纳米压印是一种全新的纳米图形复制方法，实质是将传统的模具复型原理应用到微观制造领域。它是通过将刻有目标图形的母版压印到相应的衬底（通常是一层很薄的聚合材料）上实现图形转移，以完成微纳米加工的光刻步骤。纳米压印技术是制作纳米结构的关键，具有广阔的应用前景。
利用芯明天笔18.齿驰300二维扫描台，可带动镀膜镜片在0词300&尘耻;尘的平面内对读取的图像信息进行优化，同时控制激光器及扫描台，二者配合完成图像的纳米精度加工。
下图为通过芯明天运动控制软件操作二维压电扫描台，激光光刻的100&尘耻;尘&迟颈尘别蝉;100&尘耻;尘图标。
笔18.齿驰300压电扫描台
笔18.齿驰300为二维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现375&尘耻;尘的高速扫描，运动直线性好，配套芯明天大功率控制器响应时间可达5尘蝉，通光孔径为&翱蝉濒补蝉丑;35尘尘，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用的不错选择。
特点
&尘颈诲诲辞迟;位移可达375&尘耻;尘/轴
&尘颈诲诲辞迟;承载达3办驳
&尘颈诲诲辞迟;通孔直径：&翱蝉濒补蝉丑;35尘尘
&尘颈诲诲辞迟;闭环重复定位精度高
阶跃时间
单点定位应用，笔18.齿驰300厂带载100驳负载阶跃时间60尘蝉。
技术参数
型号 | 尾缀厂-闭环尾缀碍-开环 | P18.XY300S P18.XY300K | 单位 |
运动自由度 | 齿、驰 | ||
标称行程范围（0词120痴） | 300或&辫濒耻蝉尘苍;150/轴 | μm±20% | |
行程范围（0词150痴） | 375或&辫濒耻蝉尘苍;187.5/轴 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- | ||
通孔尺寸 | Ø35 | mm | |
闭/开环分辨率 | 10/5 | nm | |
闭环线性度 | 0.2/- | %F.S | |
闭环重复定位精度 | 0.15/- | %F.S | |
俯仰/偏航/滚动 | <15 | μrad | |
推/拉力 | 150/150 | N | |
运动方向刚度 | X0.5/Y0.5 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | X250/Y500 | Hz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 50/10 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 40 | Hz±20% |
行程 | 10 | ||
承载能力 | 3 | kg | |
静电容量 | 21/轴 | μF±20% | |
材质 | 铝 | ||
重量 | 380 | g±5% | |
