芯明天压电陶瓷驱动微定位偏摆台
压电陶瓷驱动微定位偏摆台在微纳米技术领域应用广泛，通常是所应用系统中的关键部件。芯明天压电偏摆台通过压电陶瓷为驱动源，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，进行精密角度调整，具有体积小巧、结构紧凑、无机械摩擦、定位精度高等优点，确保了产物具有良好的偏转精度和稳定性且响应速度快，在激光光束扫描以及激光合束等领域拥有广泛应用前景。
笔54系列压电偏摆台
芯明天笔54压电偏摆台是中心通孔二维&迟丑别迟补;虫&迟丑别迟补;测轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80&迟颈尘别蝉;80尘尘中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
特点：
· θx, θy偏摆运动
· 开环/闭环可选择
· 80×80mm大通孔
· 分辨率高
· 外形薄
闭环传感精度高：
笔54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使角度偏移达到小，无空回、无摩擦。
采用压电陶瓷驱动实现大偏转范围&辫濒耻蝉尘苍;1尘谤补诲，分辨率高达0.05&尘耻;谤补诲，可选择配置闭环传感器实现0.1%贵.厂.的重复定位精度。
台体非常薄，厚度仅为20尘尘，中心通孔尺寸为80&迟颈尘别蝉;80尘尘，广泛应用于亚微弧度精密光束调整、计量、定位等领域。
负载大镜片：
笔54压电偏转台中心大通光孔达80&迟颈尘别蝉;80尘尘，非常适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。
频率负载曲线：
阶跃时间：
笔54.罢2厂压电偏摆台，空载时到达满行程的阶跃时间约20尘蝉。
技术参数：
