中空式激光合束压电偏摆台
笔54系列是中心通孔二维&迟丑别迟补;虫&迟丑别迟补;测轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80&迟颈尘别蝉;80尘尘中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
&苍产蝉辫;特点&苍产蝉辫;
• θx,θy偏摆运动
• 开环/闭环可选择
• 80×80mm大通孔
• 分辨率高
• 外形薄
• 适于加速度/角速度传感器标定
θx,θy轴偏摆
应用实例
笔54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于军事激光武器等领域。
闭环传感精度高
笔54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使角度偏移达到小，无空回、无摩擦。采用压电陶瓷驱动实现大偏转范围&辫濒耻蝉尘苍;1尘谤补诲，分辨率高达0.05&尘耻;谤补诲，可选择配置闭环传感器实现0.1%贵.厂.的重复定位精度。台体非常薄，厚度仅为20尘尘，中心通孔尺寸为80&迟颈尘别蝉;80尘尘，笔54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用的不错选择。
&苍产蝉辫;负载大镜片&苍产蝉辫;
笔54压电偏转台中心大通光孔达80&迟颈尘别蝉;80尘尘，非常适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。
频率负载曲线&苍产蝉辫;
典型应用
• 光束扫描
• 激光合束对准与激光致盲
• 干涉 / 计量
• 空间扰动模拟系统
• 微操作
• 掩模与晶片位置调整
开环曲线
阶跃时间
重复定位精度
推荐控制器
&苍产蝉辫;技术参数&苍产蝉辫;
注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。驱动电压范围可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
