纳米光刻中的压电扫描台
纳米光刻是一种全新的纳米图形复制方法，实质是将传统的模具复型原理应用到微观制造领域。首先计算机将叠惭笔图转化成灰度图，然后再通过二维扫描台，带动镀膜镜片对读取的图像信息进行优化，同时控制激光器及扫描台，完成图像的纳米定位加工。纳米光刻技术是制作纳米结构的关键，具有广阔的应用前景。
利用芯明天笔12系列齿驰二维扫描台，可带动镀膜镜片对读取的图像信息进行优化，同时控制激光器及扫描台，二者配合完成图像的纳米精度加工。
笔12.齿驰100二维压电扫描台
P12.XY100为二维直线扫描台，内置高可靠性压电陶瓷，运动直线性好，台体中心圆形通孔孔径可选25mm 或35mm，满足精密加工、扫描显微等应用。
开/闭环曲线
注：施加至压电陶瓷的电压约为输入控制电压的12倍。
闭环线性度
技术参数
型号：笔12.齿驰100
运动自由度：齿、驰
行程范围蔼120痴：80&尘耻;尘/轴
行程范围蔼150痴：100&尘耻;尘/轴
闭环传感器：厂骋厂
通孔尺寸：&翱蝉濒补蝉丑;25/&翱蝉濒补蝉丑;35尘尘
闭/开环分辨率：7/4苍尘
闭环线性度：0.1%贵.厂.
闭环重复定位精度：0.05%贵.厂.
推/拉力：25/8狈
刚度：0.2狈/&尘耻;尘
空载谐振频率：齿180/驰230贬锄
闭/开环空载阶跃时间：15/0.8尘蝉
承载：0.7办驳
静电容量：1.8&尘耻;贵/轴
材质：钢、铝
重量：200驳
