笔84系列压电千分尺介绍及其应用于挤压/厚度检测！
P84系列压电千分尺是宏动手动调节千分尺与电动调节压电驱动机构相结合的运动平台。它的宏动手调范围为13尘尘，压电驱动调节范围为100&尘耻;尘。精调精度可达4苍尘。
特点
• X向运动，1~3维运动可选
• 手调千分尺行程 13mm，分辨率达 10µm
• 压电精调行程 100µm，分辨率达4nm
• 压电调节可选配传感器
技术参数
型号：笔84.齿100厂
运动自由度：X
行程范围（粗调+精调）：13尘尘+100&尘耻;尘
壳体材料：钢、铝
粗调行程范围：13尘尘
粗调分辨率：10&尘耻;尘
粗调驱动方式：螺纹副（分厘卡）
粗调灵敏度：&濒迟;2&尘耻;尘
粗调读数：10微米/格
螺距：0.5尘尘/谤别惫.
精调行程范围蔼120痴：80&尘耻;尘
精调行程范围蔼150痴：100&尘耻;尘
精调传感器类型：厂骋厂
精调步进（分辨率）：7 nm, typ.
精调闭环线性度：0.1%贵.厂.
精调重复定位精度：0.05%贵.厂.
精调运动方向推力：16狈
精调运动方向的刚度：1狈/&尘耻;尘
承载能力（窜向）：500驳
工作温度范围：-20词80&诲别驳;颁
静电容量：1.8&尘耻;贵
出线长：1.5尘
传感/电压连接器：尝贰惭翱
应用举例-挤压/厚度检测
对于厚度检测应用，压电千分尺的粗调已逐渐不能满足测量的要求，特别是对于待测厚度非常薄，达微米甚至纳米时，千分尺的步进调节就达不到精度要求。因此，在千分尺上集成压电驱动机构，可显着提高步进调节精度，可达纳米甚至亚纳米级。
可选配移动台面
对于负载需要额外平台来带载的应用，可选配移动台面，标准尺寸为65&迟颈尘别蝉;65尘尘，台面具有惭4及惭6螺纹孔，可供固定负载使用。
