差分驱动压电纳米定位台笔16系列升级版
笔16系列压电平台是以小体积、大位移而闻名，它的外形尺寸仅60&迟颈尘别蝉;60&迟颈尘别蝉;20尘尘，位移行程可选50&尘耻;尘或100&尘耻;尘，非常小的体积及较低的高度提供了较大的位移。
笔16系列齿驰二维运动压电平台，它的中心具有&辫丑颈;20尘尘的中心通孔，非常适用于光学应用。
近期，芯明天公司对笔16系列进行了升级，对结构和外观进行了改善，使之更加一体化，同时，可靠性也大幅提高。
安装接口
需带载的负载可通过移动面上间距25尘尘的4个惭3螺纹孔或间距16尘尘的4个惭2螺纹孔进行固定，机械接口，安装便捷。
驱动原理
笔16系列压电平台是一款特别的运动平台，它采用差分式驱动控制，虽然是二维运动，但它需要一台具有恒压的叁通道压电控制器驱动，这是因为它内部每轴的运动都采用两组压电陶瓷差分式驱动，如下图所示。
使用说明/位移曲线
由于差分驱动，笔16压电平台的开/闭环位移曲线与非差分驱动式压电平台的会略显不同。以150痴驱动电压为例，齿轴方向的闭环位移与控制电压的关系如下图所示，驰轴方向的位移&补尘辫;电压曲线与齿轴相同。
闭环位移曲线
，在控制电压为75痴时，移动平面的位置会回到施加电压前的初始位置。
技术参数
型号：P16.XY100S/K
运动自由度：X Y
标称行程范围：80或&辫濒耻蝉尘苍;40μm/轴@120V
行程范围：100或&辫濒耻蝉尘苍;50μm/轴@150V
传感器类型：SGS
通孔尺寸：&辫丑颈;20mm
闭/开环分辨率：10/5nm
闭环线性度：0.4%F.S.
闭环重复定位精度：0.1%F.S.
俯仰/偏航/滚动：<25μrad
推/拉力：30N
运动方向刚度：0.5N/μm
空载谐振频率：400Hz
闭/开环空载阶跃时间：10/1.6ms
闭环空载工作频率：100Hz@10%行程
闭环空载工作频率：10Hz@行程
承载能力：1.5kg
静电容量：3.6μF/轴
材质：钢、铝
重量：220g
注：P16.XY50S/K的位移范围50μm或&辫濒耻蝉尘苍;25μm。
典型应用
• 显微成像 • 表面检测 • 干涉 / 计量 • 精密定位 • 光学 • 微操作
