笔16系列稳像压电扫描台
特点
&产耻濒濒;位移可达105μm
&产耻濒濒;承载能力1.5办驳
&产耻濒濒;闭环重复定位精度高
&产耻濒濒;开环、闭环可选
&产耻濒濒;真空版本可选
频率负载曲线
刚度大、谐振频率高、负载能力大
笔16系列压电扫描台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,扫描台分别可实现50&尘耻;尘 、100μm、105μm 的运动行程,一体式结构设计XY 轴运动无耦合,优异的结构可承载1.5kg 的负载,空载谐振频率达700Hz。P16.XY100 版本为中心对称运动方式,需配套带有一通道恒压的三通道压电控制器。
笔16二维压电扫描台中心通孔尺寸&翱蝉濒补蝉丑;20尘尘或&翱蝉濒补蝉丑;43尘尘,该系列压电扫描台以其小体积、大负载、高动态等特性广泛应用于显微成像等领域。
应用实例
笔16.齿驰二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点,应用于光路调整实验中,带载镜片做齿驰轴精密运动。
技术参数
型号:P16.XY100
运动自由度:齿、驰
行程范围(0~120V):80&尘耻;尘或&辫濒耻蝉尘苍;40&尘耻;尘/轴
行程范围(0~150V):100&尘耻;尘/轴或&辫濒耻蝉尘苍;50&尘耻;尘/轴
闭环传感器:SGS
通孔尺寸:Ø20mm
闭/开环分辨率:10/5nm
闭环线性度:1%F.S.
闭环重复定位精度:0.5%F.S.
俯仰/偏航/滚动:<25μrad
推/拉力:30/30N
运动方向刚度:0.5N/μm
空载谐振频率:600Hz
闭/开环空载阶跃时间:10/1.6ms
承载能力:1.5kg
静电容量:3.6&尘耻;贵/轴
材质:钢、铝
重量:220g