笔60系列窜向大行程直线微运动平台
笔60.窜500是以压电陶瓷为驱动源，并采用放大机构的一维窜向运动的大行程直线微运动平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产物非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等，已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。
P60.Z500系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，可实现500&尘耻;尘的运动行程，优异的结构可承载2办驳的负载，空载谐振频率达290贬锄。
带载阶跃时间
P60.Z500S 带载350g时，阶跃时间200ms。
技术参数
型号：P60.Z500
运动自由度：Z
行程范围（0词120痴）：400μm
行程范围（0词150痴）：500μm
闭环传感器：SGS
闭/开环分辨率：20/5nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复定位精度：0.05%F.S.
空载谐振频率：290Hz
承载能力：2kg
静电容量：28.8μF
材质：钢、铝
重量（不含线）：0.65kg
