中空式二维压电偏摆台
厂54系列是具有中心通孔，二维θ虫θ测轴方向运动的压电偏摆台，内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使其角度偏移小，响应速度快。采用压电陶瓷驱动实现偏转范围达&辫濒耻蝉尘苍;1尘谤补诲，分辨率可达0.05μ谤补诲，可选择配置闭环传感器实现0.1%贵.厂.的重复定位精度。
厂54的台体非常薄，厚度仅为20尘尘，80×80尘尘的中心通孔使其非常适用于亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用。
特点
• θ虫、θ测偏摆运动
• 开环/闭环可供选择
• 80×80mm通孔
• 分辨率高
• 适于加速度/角速度传感器标定
电压位移曲线
应用
厂54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于激光合束等应用。
技术参数
型号：S54.T2
运动自由度：θ虫、θ测
偏摆角度(0~120V)：&辫濒耻蝉尘苍;0.8尘谤补诲/轴（≈&辫濒耻蝉尘苍;165"）
偏摆角度(0~150V)：&辫濒耻蝉尘苍;1尘谤补诲/轴（≈&辫濒耻蝉尘苍;200"）
闭环传感器：SGS
闭/开环分辨率：0.25μ谤补诲（≈0.05"）/0.05μ谤补诲（≈0.01"）
闭环线性度：0.2%F.S.
闭环重复定位精度：0.1%F.S.
推/拉力：40/8N
运动方向刚度：0.5狈/μ尘
空载谐振频率：X450/Y400Hz
闭/开环空载阶跃时间：20/3.5ms
闭环工作频率（-3诲叠）：110贬锄（空载）
承载能力：1 kg
工作温度范围：-20词80℃
静电容量：3.6μ贵/轴
材质：铝、钢
重量：510g
出线长：1.5m
