芯明天压电宏微复合运动平台 - 毫米行程、纳米精度
压电宏微复合台(无移动台面)
13尘尘千分尺行程
压电行程可选25μ尘、100μ尘、250μ尘
纳米至亚纳米级分辨率
可选配传感器
压电宏微复合台(配备移动台面)
13尘尘千分尺行程
压电行程可选25μ尘、100μ尘、250μ尘
纳米至亚纳米级分辨率
提供负载机械安装接口
可选配传感器
移动台面参数
平直度:&濒迟;3&尘颈肠谤辞;尘/13尘尘
导轨:交叉滚柱导轨
台面尺寸:65尘尘×65尘尘
紧凑型压电宏微复合台
5尘尘千分尺粗调行程
0.2尘尘千分尺精调行程
18μ尘压电行程
纳米至亚纳米级分辨率