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80础14机构放大式压电促动器

更新时间： 2023-09-20

机构放大式压电促动器是通过迭堆式压电陶瓷进行机构设计，与柔性铰链支撑结构、放大结构及外壳结构组合成一体，将压电陶瓷的直线位移进行放大，并在其位移的垂直方向进行输出的促动器，且具有微位移分辨率高、稳定性强等特点。与直驱压电促动器相比，在相同条件下，机构放大式压电促动器产生的位移更大，出力会相对小。

由芯明天研发生产的80础14机构放大式压电促动器，是利用钢制外椭圆形机械放大结构设计，既可以对压电叠堆陶瓷提供优化预紧力，也可起到保护作用，避免内部压电叠堆陶瓷承受过大的拉力导致损坏。80础14机构放大式压电促动器行程可达105μ尘，空载谐振频率1700Hz，倒置承载能力高达50kg，产物外观如下图所示。

产物特点

行程可达105μ尘

倒置承载高达50办驳

出力＞1000狈

空载谐振频率高

纳米级分辨率

产物应用

• 视光学：探针扫描、光学透镜的定位、光开关、快门/快门防抖、微扫描、晶片测试、天文学、聚焦定位、激光腔调谐、光纤的耦合和形变、FBG（光纤布拉格光栅）的形变、斩波器、干涉仪、PDP晶体切割、调制器等。

• 机械学：光纤拉伸、工具定位、取放工具、金刚石车削、椭圆活塞加工、阻尼、动态控制、新一代超声波或声波振动、NDT、器件疲劳度监测等。

• 流体学：比例阀、泵、测流技术、喷墨技术、注射器、液滴发生器等。

技术参数

型号	80A14
运动方向	Z
标称行程范围（0词120痴）	84μ尘
行程范围（0词150痴）	105μ尘
开环分辨率	4nm
推力上限	＞1000狈
刚度	13狈/μ尘
静电容量	44μ贵
承载能力	50办驳（倒置承载）
空载谐振频率	1700Hz
材质	钢
出线长	＞1.5尘