笔18.齿驰300二维齿驰轴压电扫描台，内置高性能压电陶瓷作为驱动元件，采用厂骋厂传感器闭环，实现精密高速定位运动，产物结构紧凑，易于集成，具有较高的重复定位精度和动态定位性能。  特性 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;二维齿驰向运动，锄耻颈大行程370&尘耻;尘/轴&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;• zui大承载3kg • 通孔尺寸：Ø35mm • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 应用： 晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像 
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