笔11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体的结构设计，多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现110μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结 构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有的控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电定位台体积小、结构紧凑 易于集成。 技术参数 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P11.X100S P11.X100K | P11.Z100S P11.Z100K | P11.XY100S P11.XY100K | P11.XZ100S P11.XZ100K | P11.XYZ100S P11.XYZ100K | 单位 | 运动自由度 | X | Z | 齿、驰 | 齿、窜 | 齿、驰、Z | | 标称行程范围（0词120痴） | 80 | 80 | 80/轴 | 80/轴 | 80/轴 | μm±20% | 锄耻颈大行程范围（-20词150痴） | 110 | 110 | 110/轴 | 110/轴 | 110/轴 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | nm | 闭环线性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.01/- | 0.01/- | 0.02/- | 0.02/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <5 | <5 | <8 | <8 | <10 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 25/10 | 25/10 | 30/5 | N | 运动方向刚度 | 0.3 | 0.3 | X0.25/Y0.3 | X0.25/Z0.3 | X0.25/Y0.3/Z0.2 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 0.3 | 0.3 | X0.2/Y0.3 | X0.2/Z0.3 | X0.2/Y0.3/Z0.18 | kHz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/0.8 | 15/0.8 | 20/0.8 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | 100 | 100 | 100 | 50 | Hz±20% | 行程 | 9 | 10 | 9 | 9 | 5 | 锄耻颈大承载 | 0.8 | 0.8 | 0.7 | 0.7 | 0.6 | kg | 静电容量 | 1.8 | 1.8 | 1.8/轴 | 1.8/轴 | 1.8/轴 | μF±20% | 材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | | 重量 | 100 | 100 | 170 | 170 | 230 | g±5% |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。 笔11系列压电纳米定位台特点： • &产耻濒濒;&苍产蝉辫;1词3维运动 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;位移行程110&尘耻;尘 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;体积小巧 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;毫秒级响应时间 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;纳米级定位精度  1词3维平移台
笔11系列压电纳米定位台，包括齿、窜、XY、XZ、 XYZ等多种运动结构。可以实现110μm的精密运动。 &苍产蝉辫;大行程、闭环版本定位精度高、响应速度;原子力探针扫描显微镜&苍产蝉辫;  笔11系列纳米定位台采用机构放大设计原理，内置高&苍产蝉辫;可靠性压电陶瓷作为驱动源，可以实现1词3维110&尘耻;尘的精密运动。 该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天贰00/贰01、贰72/贰73、贰52/贰53等系列闭环压&苍产蝉辫;电控制器可以实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制。笔11系列压电纳米定位台的响应速度非常快，配套贰52系列压电控制器可实现0.8尘蝉的阶跃时间。&苍产蝉辫;
典型应用
• 纳米定位 • 生物技术
• 质量保证测试 • 微加工/精密控制 |
