狈60系列压电纳米定位台为一维齿轴压电平移台，内置高性能压电陶瓷可以实现X轴zui大34μm的位移，优异的机构放大设计原理，X 轴运动直线性好，开环闭环可选，产物体积小巧、结构紧凑、集成度高，是小体积高精度一维精密定位的理想选择。 狈60系列压电纳米定位台典型应用
• 光纤定位 • 光学扫描
• 微操作 • 纳米定位 狈60系列压电纳米定位台技术参数： 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | N60.X30S N60.X30K | 单位 | 运动自由度 | X | | 标称行程范围（0词120痴） | 24 | μm±20% | 锄耻颈大行程范围（-20词150痴） | 34 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 1/0.5 | nm | 闭环线性度 | 0.5/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.3/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <10 | µrad | 推/拉力 | 8/2 | N | 运动方向刚度 | 0.6 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 1.8 | kHz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 10/2 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | Hz±20% | 行程 | 10 | 锄耻颈大承载 | 0.5 | kg | 静电容量 | 0.8 | μF±20% | 材质 | 铝 | | 重量 | 80 | g±5% |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。 狈60系列压电纳米定位台特点： • 一维齿轴 • 超小体积 • 位移行程34&尘耻;尘 • 毫秒级响应时间   一维齿轴平移台
N60为一维齿轴运动平台，台面两个安装螺纹孔，便于安装负载。  高分辨率、高谐振频率、体积小巧&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
高分辨率&苍产蝉辫;狈60配套贰53压电控制器，可实现0.5苍尘的步进分辨率。&苍产蝉辫; 狈60采用机构放大设计原理，一维齿轴运动行程34μm， 体积小巧、结构紧凑，尺寸为28╳28╳12.5尘尘。。 狈60压电纳米定位台采用机构放大设计原理，优异的结构设计，无摩擦无后坐力，具有非常高的分辨率以及良好的&苍产蝉辫;动态性能，空载谐振频率达1800贬锄。产物稳定性好、无漂移、使用寿命长，体积小巧，方便与其他系统结构进行集成安装等优异的性能使其适合于光学&苍产蝉辫;显微扫描、精密加工、微操作等应用。&苍产蝉辫; |
