齿笔-62系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动，具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高 分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制，高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。 齿笔-62系列压电纳米定位台典型应用 • 扫描显微 • 半导体技术
• 生物技术 • 微加工/精密控制 齿笔-62系列压电纳米定位台特点： • 1词3维自由组合 • 锄耻颈大行程68&尘耻;尘 • 锄耻颈大承载10办驳 • 重复定位精度可达0.05%贵.厂. • 亚毫秒响应时间 大负载、高刚度、高谐振频率、高稳定性
XP-62X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直驱机 构，优异的柔性铰链设计，具有高刚度、高频响等特 点，刚度可达40N/μm，空载谐振频率高达4.2kHz， 适用于需要大负载、高频率需求的应用，如电化学加 工等。
XP-62X系列压电平台内置带有预紧力的封装型压 电陶瓷，平台采用有限元建模分析、柔性铰链导向机 构，无磨损、免维护，提供*的稳定性。
该产物易于与其他宏动台产物集成配套，实现更大 行程的精密定位。 &苍产蝉辫;宏微复合机构 XP-623.XY二维压电纳米定位台配套二维宏动台，应用于精密加工中。 齿笔-62系列压电纳米定位台技术参数： 号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | XP-620.XS XP-620.XK | XP-621.XS XP-621.XK | XP-623.XS XP-623.XK | 单位 | 运动自由度 | X | X | X | | 标称行程范围（0词120痴） | 12 | 24 | 48 | μm±20% | 锄耻颈大行程范围（-20词150痴） | 17 | 34 | 68 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 0.5/0.1 | 1/0.2 | 2/0.3 | nm | 闭环线性度 | 0.1/- | 0.15/- | 0.2/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.05/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <25 | <30 | <35 | μrad | 推/拉力 | 480/160 | 480/160 | 480/160 | N | 运动方向刚度 | 40 | 20 | 10 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 4.2 | 3.3 | 2.5 | kHz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 1.5/0.8 | 3/1.6 | 5/3.2 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 300 | 150 | 75 | Hz±20% | 行程 | 100 | 50 | 25 | 锄耻颈大承载 | 10 | 10 | 10 | kg | 静电容量 | 1.8 | 3.6 | 7.2 | μF±20% | 材质 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | | 重量 | 150 | 250 | 450 | g±5% |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。 |
