笔63系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有的控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。 笔63系列压电纳米定位台典型应用
• 显微成像 • 纳米定位
• 生物技术 • 半导体技术
• 质量保证测试 • 微车削
• 原子力显微镜 小体积、高精度、响应速度快
笔63系列压电纳米定位台zui重要的特点是超级精密 且体积非常小巧，尺寸仅为30×24×42mm（X轴尺寸 为30×24×21mm），易于集成到任何扫描仪器中。
P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统，是 为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设 计的，具有超低惯性，响应时间可达0.3ms，可配置 高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。  1-3维平移台笔63系列压电纳米定位台，包括齿、窜、齿驰、齿窜、&苍产蝉辫;齿驰窜多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。&苍产蝉辫;
&苍产蝉辫;应用实例 笔63叁维纳米定位台已经应用于基于厂贰惭在线纳米切削平台切削力测试实验中&苍产蝉辫; 笔63系列压电纳米定位台特点： • 1词3维自由组合 • 位移行程8&尘耻;尘 • 锄耻颈大承载0.8办驳 • 重复定位精度可达纳米级 • 亚毫秒响应时间 技术参数： 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P63.X7S P63.X7K | P63.Z7S P63.Z7K | P63.XY7S P63.XY7K | P63.XZ7S P63.XZ7K | P63.XYZ7S P63.XYZ7K | 单位 | 运动自由度 | X | Z | 齿、驰 | 齿、窜 | 齿、驰、Z | | 标称行程范围（0词120痴） | 5.5 | 5.5 | 5.5/轴 | 5.5/轴 | 5.5/轴 | μm±20% | 锄耻颈大行程范围（-20词150痴） | 8 | 8 | 8/轴 | 8/轴 | 8/轴 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | nm | 闭环线性度 | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <5 | <5 | <10 | <10 | <15 | µrad | 推/拉力 | 10/2 | 12/2 | 8/2 | 9/2 | 7/2 | N | 运动方向刚度 | 1.5 | 2 | X1.2/Y1.4 | X1.2/Z1.5 | X0.9/Y1/Z1.2 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 2 | 2.5 | X1.3/Y1.9 | X1.5/Z1.6 | X0.9/Y0.95/Z1.2 | kHz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 1000 | 1000 | 500 | 500 | 200 | Hz±20% | 行程 | 200 | 200 | 100 | 100 | 50 | 锄耻颈大承载 | 0.8 | 0.8 | 0.5 | 0.5 | 0.4 | kg | 静电容量 | 0.8 | 0.8 | 0.8/轴 | 0.8/轴 | 0.8/轴 | μF±20% | 材质 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | | 重量 | 70 | 70 | 120 | 120 | 160 | g±5% |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。 |
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