笔16压电扫描台为XY轴平移扫描台,机构放大设计原理,中心通孔孔径为20mm,该系列扫描台有50μm与100μm两种规格行程 可选,开环闭环可选。方形移动台面,便于与外部机械结构安装连接。   笔16压电扫描台典型应用 • 显微成像 • 表面检测 • 干涉/计量 • 精密定位 • 光学 • 微操作 应用实例     P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点,应用于光 路调整实验中,带载大镜架做XY轴精密运动。   笔16压电扫描台特性 &产耻濒濒;锄耻颈大位移100&尘耻;尘 • 锄耻颈大承载1.5kg • 通孔尺寸:Ø20mm • 闭环重复定位精度高 • 开环闭环可选 刚度大、谐振频率高、负载能力大     P16系列压电扫描台,采用机构放大设计原理,内置高性 能压电陶瓷,两个规格型号扫描台分别可实现50μm与100μm 的运动行程,一体式结构设计XY轴运动无耦合,优异的结构 可以承载1.5kg的负载,空载谐振频率达400Hz。     P16.XY100版本为中心对称运动方式,需配套带有一通道 恒压的叁通道压电控制器。    P16二维压电扫描台中心通孔尺寸Ø20mm,该系列压电 扫描台以其小体积、大负载、高动态等特性广泛应用于显微成 像等领域。 笔16压电扫描台技术参数:     型号  |   尾缀S-闭环 尾缀K-开环  |   P16.XY50S P16.XY50K  |   P16.XY100S P16.XY100K  |   单位  |  运动自由度  | 齿、驰  | 齿、驰  |    |  标称行程范围(0词120痴)  | 40/轴  | 80或&辫濒耻蝉尘苍;40/轴  | μm±20%  |  锄耻颈大行程范围(-20词150痴)  | 55/轴  | 100或&辫濒耻蝉尘苍;50/轴  | μm±20%  |  传感器类型  | SGS/-  | SGS/-  |    |  通孔尺寸  | Ø20  | Ø20  | mm  |  闭/开环分辨率  | 10/5  | 10/5  | nm  |  闭环线性度  | 0.4/-  | 0.4/-  | %F.S.  |  闭环重复定位精度  | 0.1/-  | 0.1/-  | %F.S.  |  俯仰/偏航/滚动  | <20  | <25  | µrad  |  推/拉力  | 30/10  | 30/30  | N  |  运动方向刚度  | X0.5/Y0.5  | X0.5/Y0.5  | N/μm±20%  |  空载谐振频率  | X200/Y200  | X400/Y400  | Hz±20%  |  闭/开环空载阶跃时间  | 10/0.8  | 10/1.6  | ms±20%  |    闭环空载 工作频率  | 10%行程  | 50  | 100  |   Hz±20%  |  行程  | 20  | 40  |  锄耻颈大承载  | 1.5  | 1.5  | kg  |  静电容量  | 1.8/轴  | 3.6/轴  | μF±20%  |  材质  | 钢、铝  | 钢、铝  |    |  重量  | 200  | 220  | g±5%  |  
 以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。  |