笔12压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。 笔12压电扫描台典型应用 • 扫描干涉 • 共焦显微 • 晶圆定位 • 表面测量 • 图像处理与稳定 • 光学捕获 笔12压电扫描台特性 • zui大位移320μm • 锄耻颈大承载0.8kg • 台体中心通孔 • 闭环重复定位精度高 1词3维扫描台 P12系列压电纳米定位台为1~3维直线压电扫描台，包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多种规格型号，通孔直径25mm 或35mm可选。 小体积、大位移、中心通孔 P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，超小的体 积外形，尺寸仅为60×60×24mm，可以实现zui大320μm 的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔 对应台体外形尺寸为70×70×24mm。 台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、超高 导向精度、纳米级分辨率等优点。 P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷， 确保了扫描台的可靠性与稳定性。  笔12.窜300闭环稳定时间图&苍产蝉辫;
P12系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性，下图为P12.Z300zui 大位移320μm闭环稳定时间图。 笔12压电扫描台技术参数： 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P12.X100S P12.X100K | P12.Z100S P12.Z100K | P12.Z200S P12.Z200K | P12.Z300S P12.Z300K | P12.XY100S P12.XY100K | P12.XYZ100S P12.XYZ100K | 单位 | 运动自由度 | X | Z | Z | Z | 齿、驰 | 齿、驰、Z | | 标称行程范围(0词120痴) | 80 | 80 | 160 | 240 | 80/轴 | 80/轴 | μm±20% | 锄耻颈大行程范围(-20词150痴) | 110 | 110 | 210 | 320 | 110/轴 | 110/轴 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 通孔尺寸 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | mm | 闭/开环分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 11/5 | 7/4 | 7/4 | nm | 闭环线性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | 0.4/- | 0.05/- | 0.15/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.01/- | 0.01/- | 0.03/- | 0.15/- | 0.03/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <10 | <10 | <15 | <15 | <10 | <15 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 30/10 | 30/10 | 25/8 | 20/4 | N | 运动方向刚度 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.1 | X0.25/Y0.3 | X0.3/Y0.25/Z0.2 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 230 | 220 | 150 | 100 | X180/Y230 | X230/Y180/Z150 | Hz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/1.6 | 30/2.4 | 15/0.8 | 30/0.8 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | 100 | 50 | 30 | 100 | 50 | Hz±20% | 行程 | 9 | 10 | 5 | 3 | 9 | 5 | 锄耻颈大承载 | 0.8 | 0.8 | 0.5 | 0.4 | 0.7 | 0.6 | kg | 静电容量 | 1.8 | 1.8 | 3.6 | 5.4 | 1.8/轴 | 1.8/轴 | μF±20% | 材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | | 重量 | 140 | 140 | 200 | 260 | 200 | 260 | g±5% |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。 |
