笔-18压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZzui大370μm 的高速扫描，zui大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。 笔-18压电扫描台典型应用 • 图像处理与稳定 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 表面检测 • 半导体测量 • 光学计量 应用实例-纳米光刻 &苍产蝉辫;在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。 芯明天笔18.齿驰300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。 笔-18压电扫描台特性 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;锄耻颈大位移370&尘耻;尘 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;锄耻颈大承载3.5办驳 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;通孔直径：&翱蝉濒补蝉丑;35尘尘 • 闭环重复定位精度高 • 响应速度快 1词3维扫描台 P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。 大位移、大承载、高刚度、高频响 P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以 实现zui大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。 P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承 载等特点，锄耻颈大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配 套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用。 笔-18压电扫描台技术参数： 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P18.X200S P18.X200K | P18.X300S P18.X300K | P18.XY200S P18.XY200K | P18.XY300S P18.XY300K | P18.XYZ200S P18.XYZ200K | 单位 | 运动自由度 | X | X | 齿、驰 | 齿、驰 | 齿、驰、Z | | 标称行程范围(0词120痴) | 200 | 300或&辫濒耻蝉尘苍;150 | 200/轴 | 300或&辫濒耻蝉尘苍;150/轴 | 200/轴 | μm±20% | 锄耻颈大行程范围(-20词150痴) | 280 | 370或&辫濒耻蝉尘苍;185 | 280/轴 | 370或&辫濒耻蝉尘苍;185/轴 | 280/轴 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 通孔尺寸 | Ø35 | Ø35 | Ø35 | Ø35 | Ø35 | mm | 闭/开环分辨率 | 8/5 | 10/5 | 8/5 | 10/5 | 8/5 | nm | 闭环线性度 | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.15/- | 0.1/- | 0.15/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <10 | <15 | <10 | <15 | <15 | µrad | 推/拉力 | 60/20 | 150/150 | 60/20 | 150/150 | 30/10 | N | 运动方向刚度 | 0.3 | 0.5 | X0.3/Y0.3 | X0.5/Y0.5 | X0.1/Y0.1/Z0.1 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 500 | 600 | X200/Y450 | X250/Y500 | X300/Y200/Z120 | Hz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 30/5 | 30/10 | 50/5 | 50/10 | 50/5 | ms±20% | 闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | 50 | 50 | 40 | 30 | Hz±20% | 行程 | 30 | 15 | 15 | 10 | 5 | 锄耻颈大承载 | 2 | 3.5 | 1.5 | 3 | 1 | kg | 静电容量 | 11 | 21 | 11/轴 | 21/轴 | 11/轴 | μF±20% | 材质 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | | 重量 | 200 | 220 | 360 | 380 | 600 | g±5% |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。
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