齿笔-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴zui大220μm的 位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式 实现二维、三维运动。 齿笔-780系列压电扫描台典型应用
• SPM扫描显微镜 • 干涉
• 掩模/晶圆定位 • 计量
• 生物技术 • 表面结构分析
齿笔-780系列压电扫描台特性 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;锄耻颈大位移220&尘耻;尘 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;锄耻颈大承载5办驳 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;通孔尺寸：25&迟颈尘别蝉;25尘尘 • 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选 大行程、高精度、大负载
XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理， 可以实现zui大220μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向 机构使其具有超高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳 米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。
优异的结构设计使其具有非常高的刚度，承载能力大， 可带载5kg的样品作精密定位 1词3维扫描台 齿笔-780系列压电扫描台包括齿、齿驰、齿窜、齿驰窜多种规格&苍产蝉辫;型号，可以自由迭加组合。 齿笔-780系列压电扫描台技术参数： 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | XP-780.XS XP-780.XK | 单位 | 运动自由度 | X | | 标称行程范围（0词120痴） | 160 | μm±20% | 锄耻颈大行程范围（-20词150痴） | 220 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | | 通孔尺寸 | 25×25 | mm | 闭/开环分辨率 | 10/5 | nm | 闭环线性度 | 0.1/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <50 | µrad | 推/拉力 | 80/40 | N | 运动方向刚度 | 0.5 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 200 | Hz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 20/5 | ms±20% | 闭环空载工作频率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 锄耻颈大承载 | 5 | kg | 静电容量 | 11 | μF±20% | 材质 | 铝 | | 重量 | 240 | g±5% |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。 |
