P76系列压电物镜定位器为大负载压电物镜定位器,负载能力可达500g,Z轴直线运动范围可达110μm,采用柔性铰链设计机构,无 摩擦,直线性好,闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜。   典型应用 • 三维成像 • 干涉/计量 • 自动聚焦系统 • 共焦显微 • 晶圆切割 • 半导体测试 螺纹适配器便于安装    P76物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙可选 ,如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显 微镜集成安装。   大负载、高频响、高分辨率    P76纳米扫描聚焦系统的设计是为了大负载、大孔径 物镜在现代高分辨率显微应用中达到快的阶跃时间。它 极其坚固的设计提供了非常快的稳定时间及扫描频率,即 使带载几百克的物镜时。多个压电驱动器的旋转对称排列 及挠曲和杠杆元件的优化设计,使它具有较高的刚度,同 时保证了优异的导向精度和动态性。    笔76压电物镜定位器的大通光孔径为22mm,大 负载为500g,它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用 的大视场物镜。笔76压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、 奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与 手动调节台相结合使用。 特性: • 位移行程110μm • 大负载500g • 毫秒级响应时间 • 闭环重复定位精度高 • 聚焦稳定性好 技术参数:   型号  | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环  | P76.Z100S P76.Z100K  |   单位  |  运动自由度  | Z  |    |  标称行程范围(0词120痴)  | 80  | μm±20%  |  大行程范围(-20词150痴)  | 110  | μm±20%  |  传感器类型  | SGS/-  |    |  闭/开环分辨率  | 5/2.5  | nm  |  闭环线性度  | 0.05/-  | %F.S.  |  闭环重复定位精度  | 0.02/-  | %F.S.  |  推/拉力  | 70/10  | N  |  运动方向刚度  | 0.8  | N/μm±20%  |  空载谐振频率  | 800  | Hz±20%  |  闭/开环空载阶跃时间  | 5/2  | ms±20%  |    闭环空载工作频率  | 10%行程  | 400  |   Hz±20%  |  行程  | 50  |  大承载  | 0.5  | kg  |  静电容量  | 7.2  | μF±20%  |  材质  | 钢、铝  |    |  重量  | 520  | g±5%  |  
   以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。      |