&苍产蝉辫;笔72系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦&苍产蝉辫;稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。 典型应用 • 三维成像 • 干涉/计量 • 表面结构分析 • 共焦显微 • 生物科技 • 半导体测试  体积小巧、易于集成、高动态、直线性好&苍产蝉辫;
压电物镜定位器体积小巧、结构紧凑，可实现 大行程110μm的位移。多种螺纹牙连接器可选，易于与其 他光学显微镜等集成。台体采用柔性铰链机构，无摩擦且具有*的分辨率。由于其空载谐振频率可达350Hz，且可带载200g负载 作高速精密运动，在光学扫描、共焦显微等领域得到广泛 的应用。可选择闭环版本，实现超高的定位精度。 &苍产蝉辫;螺纹适配器便于安装&苍产蝉辫;  笔72物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在&苍产蝉辫;预期位置&苍产蝉辫;。&苍产蝉辫;多种螺纹&苍产蝉辫;牙&苍产蝉辫;可&苍产蝉辫;选&苍产蝉辫;，&苍产蝉辫;如惭27&迟颈尘别蝉;&苍产蝉辫;0.&苍产蝉辫;75、&苍产蝉辫;惭&苍产蝉辫;26&迟颈尘别蝉;&苍产蝉辫;0.&苍产蝉辫;75、&苍产蝉辫;惭26&迟颈尘别蝉;1/36"、惭25&迟颈尘别蝉;0.75、奥0.8&迟颈尘别蝉;1/36"等，也可定制，便于与显&苍产蝉辫;微镜集成安装。 笔72压电物镜定位器特性; &产耻濒濒;&苍产蝉辫;大行程110&尘耻;尘 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;大承载0.2办驳 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;毫秒级响应时间 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;闭环重复定位精度高 &产耻濒濒;&苍产蝉辫;开环/闭环可选 笔72压电物镜定位器技术参数： 型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P72.Z100S P72.Z100K | 单位 | 运动自由度 | Z | | 标称行程范围（0词120痴） | 80 | μm±20% | 大行程范围（-20词150痴) | 110 | μm±20% | 传感器类型 | SGS/- | | 闭/开环分辨率 | 5/2.5 | nm | 闭环线性度 | 0.1/- | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 推/拉力 | 110/15 | N | 运动方向刚度 | 1.4 | N/μm±20% | 空载谐振频率 | 350 | Hz±20% | 闭/开环空载阶跃时间 | 10/3 | ms±20% | 闭环空载工作频率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 大承载 | 0.2 | kg | 静电容量 | 3.6 | μF±20% | 材质 | 钢 | | 重量 | 150 | g±5% |
以上参数是采用贰00系列压电控制器测得。 |
