特性 2词3维运动 位移行程40&尘耻;尘 体积小巧 亚毫秒响应时间 二、叁维平移台 笔13压电纳米定位台，包括二维齿驰轴、叁维齿驰窜轴两个规格型号。 闭环阶跃稳定时间图 笔13.齿驰闭环版本40&尘耻;尘行程的稳定时间约为30尘蝉。 超小体积、无机械间隙、高分辨率 固态铰链平行四边形设计原理，平行运动无机械间隙，该结构原理使其具有非常高的分辨率，运动直
线性好。
笔13系列压电纳米定位台可以很容易的安装到其他的定位系统并且可以配置传感测量装置（应变计传
感器）消除压电陶瓷的迟滞与蠕变特性。笔13压电平移台适用于动态使用，是扫描应用的理想选择。 |
