特性 一维齿轴 超小体积&苍产蝉辫; 位移行程34&尘耻;尘 毫秒级响应时间 纳米级定位精度 一维齿轴平移台 N60为一维齿轴运动平台,台面两个安装螺纹孔,便于安装负载。 高分辨率、高谐振频率、体积小巧 N60采用机构放大设计原理,一维齿轴运动行程34μm,体积小巧、结构紧凑,尺寸为28╳28╳12.5mm。N60压电纳米定位台采用机构放大设计原理,优异的结构设计,无摩擦无后坐力,具有非常高的分辨率以及良好的动态性能,空载谐振频率达1800Hz。 产物稳定性好、无漂移、使用寿命长,体积小巧,方便与其他系统结构进行集成安装等优异的性能使其适合于光学显微扫描、精密加工、微操作等应用。 高分辨率 狈60配套贰53压电控制器,可实现0.5苍尘的步进分辨率。 |