P70 系列压电扫描台具有两个版本，分别为二维 XY 向运动、一维 Z 向运动。两个版本在四个角的位置都具有四个通孔，孔心距为 30mm，非常适于笼式结构的安装。XY 运动版本额外具有四个沉孔，也适于螺纹安装固定。 | 技术参数 | 型号 | P70.XY20S ( 放大机构） | P70.XY20K( 放大机构） | 单位 | 运动自由度 | X,Y | X,Y | | 行程范围 | &辫濒耻蝉尘苍;8.5（蔼120痴） | &辫濒耻蝉尘苍;8.5（蔼120痴） | μm±10% | 传感器类型 | SGS | - | | 闭环分辨率&苍产蝉辫; | 1 | 0.6 | nm | 闭环线性度 | 0.3 | - | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.2 | - | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <15 | <15 | μrad | 承载能力&苍产蝉辫; | 300 | 300 | g | 闭环响应时间&苍产蝉辫; | 30 | 30 | ms±20% | 空载谐振频率 | 1.2 | 1.2 | kHz±20% | 加载谐振频率&苍产蝉辫; | 0.4（53驳） | 0.4（53驳） | ms±20% | 静电容量 | 0.8/ 轴 | 0.8/ 轴 | μF±20% | 重量 | 175 | 175 | g±5% |
| 技术参数 | 型号 | P70.Z8S (直驱机构） | 笔70.窜8碍（直驱机构） | 单位 | 运动自由度 | Z | Z | | 行程范围 | 8（蔼150痴） | 8（蔼150痴） | μm±10% | 传感器类型 | SGS | - | | 闭环分辨率&苍产蝉辫; | 1 | 0.6 | nm | 闭环线性度 | 0.25 | - | %F.S. | 闭环重复定位精度 | 0.16 | - | %F.S. | 俯仰/偏航/滚动 | <10 | <10 | μrad | 承载能力&苍产蝉辫; | 200 | 200 | g | 闭环响应时间&苍产蝉辫; | 30 | 20 | ms±20% | 空载谐振频率 | 3.6 | 3.6 | kHz±20% | 加载谐振频率&苍产蝉辫; | 1.5（200驳） | 1.5（200驳） | ms±20% | 静电容量 | 1.6 | 1.6 | μF±20% | 重量 | 128.5 | 128.5 | g±5% |
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