齿驰齿驰窜72压电宏微复合平台 产物特点 &苍产蝉辫;齿驰宏动毫米行程，适于镜头等位置横向调整 &苍产蝉辫;窜向微动微米行程，适于光学聚焦调整 &苍产蝉辫;&笔丑颈;35尘尘中心通孔，适于透射光应用 技术参数 | 型号 | XY72N81K13 | XYZ72SN81K13 | XYZ72KN81K13 | 单位 | | 运动自由度 | X Y | X Y Z | X Y Z |
| | XY 宏动行程 | ±5 | ±5 | ±5 | mm | | Z 微调行程 | - | 8@150V | 8@150V | μ尘 | | XY 最小位移增量 | <30 | <30 | <30 | nm | | Z 分辨率 | - | 0.3 | 0.1 | nm | | Z 微调传感器 | - | SGS | - |
| | Z 线性度 | - | 0.25 | - | %F.S. | | Z 重复定位精度 | - | 0.25 | - | %F.S. | | Z 空载谐振频率 | - | 2.5 | 2.5 | kHz | | 承载能力 | 1.5 | 正立：500 | 正立：500 | g | | 侧放：200 | 侧放：200 | | 中心通孔 | φ35 | φ35 | φ35 | mm | | 重量 | - | 695 | 695 | g | | 压电螺钉连接器 | RJ11 | RJ11 | RJ11 |
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齿驰齿驰窜72压电宏微复合平台 
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