笔18系列压电扫描台有哪些参数
为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。
特性：
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&产耻濒濒;&苍产蝉辫;大承载3.5办驳
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1词3维扫描台
P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
典型应用
• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快
• 图像处理与稳定 • 扫描显微
• 干涉/计量 • 表面检测
• 半导体测量 • 光学计量
大位移、大承载、高刚度、高频响
