笔18.齿驰300压电扫描台典型应用领域
图像处理与稳定 • 扫描显微
• 干涉/计量 • 表面检测
• 半导体测量 • 光学计量
应用实例-纳米光刻
&苍产蝉辫;在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天笔18.齿驰300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。
特性
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;大位移370&尘耻;尘
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;大承载3.5办驳
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;通孔直径：&翱蝉濒补蝉丑;35尘尘
• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快
1词3维扫描台
P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以 实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承 载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配 套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用。
