产物名称：P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
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产物特点：P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm笔66.齿60压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产物非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。
更新日期：2025-02-24
特性 P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
应用
• 光盘驱动测试 开闭环版本可选
传感器使用全桥配置已消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现较高的线性度与重复度。
P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
型号 | 尾缀厂-闭环 尾缀碍-开环 | P66.X60S | P66.X60K | 单位 |
运动自由度 | X | X | ||
行程（0词120痴） | 48 | 48 | μ尘&辫濒耻蝉尘苍;20% | |
行程（0词150痴） | 48 | 48 | μ尘&辫濒耻蝉尘苍;20% | |
传感器类型 | SGS | - | ||
闭/开环分辨率 | 2 | 0.8 | nm | |
闭环线性度 | 0.1 | - | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <20 | <20 | µrad | |
推/拉力 | 160/16 | 160/16 | N | |
运动方向刚度 | 2.8 | 2.8 | N/μ尘&辫濒耻蝉尘苍;20% | |
空载谐振频率 | 1.3 | 1.3 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 10 | 1.6 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 200 | 200 | Hz±20% |
行程 | 20 | 20 | ||
大承载 | 6 | 6 | kg | |
静电容量 | 7.2 | 7.2 | μ贵&辫濒耻蝉尘苍;20% | |
材质 | 铝 | 铝 | ||
重量 | 190 | 190 | g±5% | |
星空糖心天美mv是专注于压电纳米运动与控制系统的研发、生产和销售的高新技术公司，提供基于压电陶瓷微位移技术的微米级行程、纳米级定位精度的直线运动产物，毫弧度级偏转角度、纳弧度级偏转精度的角度运动产物与配套运动控制产物以及相关解决方案，是中国压电纳米定位行业开发、创新、开拓的先锋。
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